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工作原理分為幾個方面。 按真空計的測量原理分類

真空計是直接測量單位面積的力，(1)靜態(tài)液位真空計:利用u型管兩端的液面差測量壓力。 (2)彈性元件真空計:真空連接的容器表面受到壓力而彈性變形，由此測量壓力值的大小。

真空計的壓力為10-1Pa時，作用于1cm2表面的力只有10-5N，很難測量這樣的小的力。 但是，可以從與低壓下的氣體壓力相關的物理量的變化中間接地測量壓力的變化。 對于這種真空計，(1)壓縮式真空計:其原理是除了u型管以外，還測量一定量的測量壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使壓力增加，用u型管真空計測量，根據(jù)體積和壓力的關系計算被測量壓力。 (2)熱傳導真空計:利用低壓下的氣體熱傳導與壓力有關的原理制作而成。 常用的是電阻真空計和熱偶真空計。 (3)熱輻射真空計:利用低壓下氣體熱輻射與壓力的關系原理。 (4)電離真空計:利用氣體分子在低壓下與帶電粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。 例如熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射性電離真空計等. (5)放電管指示器:利用有關氣體放電狀況、放電顏色和壓力的性質(zhì)判定真空度，一般只能進行定性測定。 (6)粘性真空計:利用低壓下的氣體與容器壁的運動量交換即外摩擦原理。 振動板式真空計和磁懸浮轉子真空計等。 (7)場致顯微鏡:根據(jù)吸附解吸時間和壓力的關系計算壓力。 (8)分壓真空計:采用質(zhì)譜技術對混合氣體進行分壓測定。 常用的有四極質(zhì)譜儀、回旋質(zhì)譜儀、無線電質(zhì)譜儀等。

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